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標準簡介：本規(guī)范規(guī)定了所有光掩模上使用的對準標記的形狀、尺寸范圍和一般位置。本規(guī)范適用于光掩模。
標準號：GB/T 16524-1996
標準名稱：光掩模對準標記規(guī)范
英文名稱：Specification for registration marks for photomasks
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1996-09-09
實施日期：1997-05-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產設備>>L95電子工業(yè)生產設備綜合
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
起草單位：中國科學院微電子中心
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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