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GB/T13843-1992藍寶石單晶拋光襯底片

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檢測執(zhí)行標準信息一覽:

標準簡介:本標準規(guī)定了生長硅的高純藍寶石單晶拋光襯底片的技術要求、測試方法、檢驗規(guī)則。本標準適用于制備半導體器件的生長硅的高純藍寶石單晶拋光襯底片。

標準號:GB/T 13843-1992

標準名稱:藍寶石單晶拋光襯底片

英文名稱:Polished monocrystalline sapphire substrates

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:1992-01-02

實施日期:1993-08-01

中國標準分類號(CCS):電子元器件與信息技術>>電子設備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術專用材料

國際標準分類號(ICS):29.040.30

替代以下標準:廢止公告:國家標準公告2017年第31號

起草單位:天津半導體技術研究所

歸口單位:全國半導體材料和設備標準化技術委員會

發(fā)布單位:國家技術監(jiān)督局

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