標準簡介：GB/T 5226的本部分規(guī)定了半導體設備相關的制造、測量、組裝和測試的電氣、電子和可編程電子設備及系統(tǒng)的安全要求。?? 注1： 本部分中的“電氣”一詞包括電氣、電子和可編程電子設備三方面(如電氣設備是指電氣設備、電子設備和可編程電子設備)。?? 注2： 就本部分而言“人”(Person)一詞泛指任何個人包括受用戶或其代理指派使用和管理上述設備的人。?? 本部分所論及的設備是從機械電氣設備的電源引入處開始的(見5.1)。?? 注3： GB/T 16895系列標準給出了建筑物電氣裝置的要求。?? 本部分適用的電氣設備或電氣設備部件其標稱電壓不超過1 000 Va.c.或1 500 Vd.c.額定頻率不超過200 Hz。對于更高的電壓或頻率可能需要特殊的要求。?? 注4： 電氣設備內(nèi)部派生電壓超過上述電源電壓限值仍屬本部分的范圍內(nèi)。?? 本部分包括針對電氣安全隱患的防護措施和針對非電氣安全隱患的電氣聯(lián)鎖保護電路但不涵蓋由其他標準或法規(guī)規(guī)定的對人身安全保護的所有要求(如化學品危險、機械危險、輻射危害)。每種類型的機械適應其特定要求以提供足夠的安全。?? 下列半導體制造設備的電氣裝置應提供附加和特殊技術要求：?? ——使用、加工或生產(chǎn)易爆材料；?? ——在易燃易爆環(huán)境中使用；?? ——當生產(chǎn)或使用某種材料時有特殊風險；?? ——作為起重機械(包括在IEC 60204-32)。?? 本部分不包括半導體設備的性能或功能特性規(guī)范。本部分不涉及對人類健康可能造成影響的源于半導體設備的排放(如電磁場噪聲)。?? 本部分沒有規(guī)定電磁兼容性(EMC)的要求。

標準號：GB/T 5226.33-2017

標準名稱：機械電氣安全 機械電氣設備 第33部分：半導體設備技術條件

英文名稱：Electrical safety of machinery—Electrical equipment of machines—Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2017-10-14

實施日期：2018-05-01

中國標準分類號（CCS）：機械>>機械綜合>>J09衛(wèi)生、安全、勞動保護

國際標準分類號（ICS）：電氣工程>>29.020電氣工程綜合

起草單位：中微半導體設備(上海)有限公司

歸口單位：全國工業(yè)機械電氣系統(tǒng)標準化技術委員會(SAC/TC 231)

發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.