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標準簡介：本標準規(guī)定了電子工業(yè)用硅烷氣體的技術要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求等。本標準主要用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。
標準號：GB/T 15909-1995
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)
英文名稱：Gas for electronic industry－Silane
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1995-01-02
實施日期：1996-08-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：被GB/T 15909-2009代替
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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