GB/T 12963-2022是中國國家標準，規(guī)定了電子級多晶硅的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸以及貯存等內容。以下是該標準規(guī)定的主要內容：
1. 引言
本部分介紹了電子級多晶硅的定義、應用范圍、標準依據和簡介。2. 規(guī)范性引用文件
本部分列出了與該標準相關的其他國家標準，包括試驗方法、檢驗規(guī)則、質量控制等方面的標準。3. 術語和定義
本部分列出了在該標準中使用的定義和術語，包括多晶硅、電子級多晶硅、摻雜等相關術語的定義。4. 技術要求
4.1 化學成分要求該部分規(guī)定了電子級多晶硅的化學成分要求，包括雜質元素的含量、總碳含量、摻雜元素的種類和含量等。4.2 晶體質量要求該部分規(guī)定了電子級多晶硅的晶體質量要求，包括晶體結構、析出物、晶體缺陷等方面的要求。4.3 電氣性能要求該部分規(guī)定了電子級多晶硅的電氣性能要求，包括載流子濃度、載流子遷移率、電阻率等方面的要求。4.4 其他要求該部分列出了電子級多晶硅的其他要求，包括表面質量、外觀、尺寸、包裝等方面的要求。5. 試驗方法
5.1 化學成分分析方法該部分詳細列出了電子級多晶硅化學成分分析的試驗方法，包括溶劑萃取法、原子吸收光譜法、離子色譜法等。5.2 晶體質量檢驗方法該部分詳細列出了電子級多晶硅晶體質量檢驗的試驗方法，包括薄片法、X射線襯度法、顯微鏡觀察法等。5.3 電氣性能檢驗方法該部分詳細列出了電子級多晶硅電氣性能檢驗的試驗方法，包括載流子濃度測定法、載流子遷移率測量法、電阻率測量法等。5.4 其他試驗方法該部分列出了電子級多晶硅的其他試驗方法，包括表面質量檢驗法、尺寸測量法、包裝檢驗法等。6. 檢驗規(guī)則與標志
該部分規(guī)定了電子級多晶硅的檢驗規(guī)則和標志，包括抽樣、檢驗結果判定、合格標志等。7. 包裝、運輸與貯存
該部分規(guī)定了電子級多晶硅的包裝、運輸與貯存要求，包括包裝材料、標志、運輸方式、貯存條件等。8. 標準的編制
本部分介紹了該標準的編制過程、參與單位和主要起草人。GB/T 12963-2022電子級多晶硅標準規(guī)定了電子級多晶硅的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸以及貯存等內容。通過這個標準，可以確保電子級多晶硅的質量穩(wěn)定性和可靠性，推動電子行業(yè)的發(fā)展。同時，該標準還對電子級多晶硅的生產、檢驗、使用提供了指導，促進了行業(yè)間的交流合作，提高了我國電子級多晶硅的競爭力和國際地位。
檢測流程步驟
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