標準簡介：本標準規(guī)定了硬面光掩模用鉻薄膜的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等內容。本標準適用于硬面光掩模用鉻薄膜。

標準號：GB/T 15870-1995

標準名稱：硬面光掩模用鉻薄膜

英文名稱：Chrome thin films for hard surface photomasks

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現行

發(fā)布日期：1995-01-02

實施日期：1996-08-01

中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產設備>>L97加工專用設備

國際標準分類號（ICS）：31.030

起草單位：長沙韶光微電子總公司

歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會

發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局

檢測流程步驟

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